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申请/专利权人:安徽陶芯科半导体新材料有限公司
摘要:本实用新型公开了瓷片清洗在线烘干装置,包括供瓷片容置、清洗和烘干的工作箱,设置在工作箱侧方且内部容置有活动部的动力箱以及设置在工作箱上方并与活动部固定安装的门体;所述活动部包括气缸、铰链和控制器,所述控制器与动力箱固定连接,所述气缸与控制器电性连接,所述气缸的输出端与铰链固定安装,所述铰链与门体铰接,瓷片清洗在线烘干装置,所述工作箱的内部开设有工作双腔,所述工作双腔的内部开设有蒸汽孔和加热风口,所述加热风口与控制器电性连接,涉及瓷片清洗在线烘干设备技术领域。本实用新型通过设置的工作双腔可进行瓷片的清洁和烘干一体化操作,避免瓷片在清洁后还需要转移烘干,会产生污染的问题,并降低污染的风险。
主权项:1.瓷片清洗在线烘干装置,包括供瓷片容置、清洗和烘干的工作箱1,设置在工作箱1侧方且内部容置有活动部4的动力箱2以及设置在工作箱1上方并与活动部4固定安装的门体3;其特征在于:所述活动部4包括气缸41、铰链42和控制器43,所述控制器43与动力箱2固定连接,所述气缸41与控制器43电性连接,所述气缸41的输出端与铰链42固定安装,所述铰链42与门体3铰接。
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