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申请/专利权人：重庆工业职业技术学院
摘要：本实用新型公开了一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置，包括籽晶轴转动机构、坩埚、加热器、保温罩、坩埚轴、炉体、第一温度传感器和第二温度传感器，坩埚、加热器和保温罩内至外依次位于所述炉体内侧，所述籽晶轴转动机构一端伸入所述坩埚内，坩埚轴连接在所述坩埚的底部，第一温度传感器用于测量晶体棒的温度，第二温度传感器用于测量坩埚壁的温度上。本实用新型的有益效果是，通过将第一温度传感器测量晶体棒的温度，第二温度传感器用于测量坩埚的炉壁温度，方便根据坩埚壁面和晶体棒温度差的大小，来选择加热器的加热波形、加热频率、幅值，抑制溶液内的热毛细对流的产生，抑制晶体生长条纹和裂缝，从而提高晶体生长质量，并减少能耗。
主权项：1.一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置，其特征在于，包括籽晶轴转动机构（1）、坩埚（5）、加热器（6）、保温罩（7）、坩埚轴（8）、炉体（9）、第一温度传感器（11）、第二温度传感器（10）和动态温度调制系统（12），所述坩埚（5）、加热器（6）和保温罩（7）内至外依次位于所述炉体（9）内侧，所述籽晶轴转动机构（1）一端伸入所述坩埚（5）内，所述坩埚轴（8）连接在所述坩埚（5）的底部，所述第一温度传感器（11）用于测量提拉时形成的晶体棒（4）的温度，所述第二温度传感器（10）用于测量坩埚（5）的炉壁温度，所述加热器（6）、第一温度传感器（11）和第二温度传感器（10）分别与动态温度调制系统（12）电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆工业职业技术学院 一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置
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