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申请/专利权人：广东吉洋视觉技术有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是指一种扩膜装置，其包括固定座、移动机构、设置于移动机构的输出端的安装座、转动地设置于安装座上的扩膜基座、设置于扩膜基座上的扩膜环、升降地设置于扩膜基座上的固定机构、升降机构、第一锁定件、分别设置于安装座上的旋转机构和锁定机构及设置于扩膜基座上的第二锁定件，所述锁定机构不但能用于带动第一锁定件与第二锁定件锁定或解锁，还能用于带动升降机构与固定机构驱动连接。本实用新型的移动机构带动安装座和晶圆的移动时的同步性好，扩膜基座与安装座的锁定和解锁方便。锁定机构能同步带动扩膜基座和安装座锁定及升降机构和固定机构的驱动连接，减少了本实用新型所需要的动力源。
主权项：1.一种扩膜装置，其特征在于：包括固定座1、设置于固定座1上的移动机构2、设置于移动机构2的输出端的安装座3、转动地设置于安装座3上的扩膜基座4、设置于扩膜基座4上的扩膜环11、升降地设置于扩膜基座4上的固定机构5、分别设置于安装座3上的旋转机构6和锁定机构7、分别设置于锁定机构7的输出端的升降机构8和第一锁定件9及设置于扩膜基座4上的第二锁定件10，所述固定机构5用于安装或固定晶圆环；所述移动机构2用于带动安装座3相对于固定座1往复运动；所述旋转机构6用于带动扩膜基座4相对于安装座3转动；所述锁定机构7不但能用于带动第一锁定件9与第二锁定件10锁定或解锁，还能用于带动升降机构8与固定机构5驱动连接；所述升降机构8用于带动固定机构5和晶圆环相对于扩膜基座4升降。
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权利要求：
百度查询： 广东吉洋视觉技术有限公司 一种扩膜装置
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