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申请/专利权人：浙江宏禧科技有限公司
摘要：本公开提供了一种掩膜版和蒸镀装置，属于半导体制造技术领域。该掩膜版包括：驱动组件、转轴、第一板体和多个第二板体，所述第一板体的中部活动套设在所述转轴外，各所述第二板体的侧边活动套设在所述转轴外，所述第一板体分别和各所述第二板体平行排布，所述第一板体和各所述第二板体沿所述转轴的轴向依次排布；所述第一板体的板面具有多个第一开口区，部分所述第二板体的板面具有多个第二开口区，不同所述第二板体的第二开口区的图案不同；所述驱动组件包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述第二板体中的至少一个转动。本公开能改善掩膜版蒸镀的效率。
主权项：1.一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版包括：驱动组件、转轴10、第一板体11和多个第二板体12，所述第一板体11的中部活动套设在所述转轴10外，各所述第二板体12的侧边活动套设在所述转轴10外，所述第一板体11分别和各所述第二板体12平行排布，所述第一板体11和各所述第二板体12沿所述转轴10的轴向依次排布；所述第一板体11的板面具有多个第一开口区110，至少部分所述第二板体12的板面具有多个第二开口区120，不同所述第二板体12的第二开口区120的图案不同；所述驱动组件包括驱动件22，所述驱动件22用于驱动所述第二板体12中的至少一个转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江宏禧科技有限公司 掩膜版和蒸镀装置
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