龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属于硅片传输设备技术领域，公开了一种硅片输送装置及加工设备。硅片输送装置包括多个并排布置的伸缩传输机构，每一伸缩传输机构均包括承载部和伸缩驱动部，且承载部传动连接于伸缩驱动部；其中，至少一个伸缩传输机构中的承载部用于承载第一尺寸的硅片，至少一个伸缩传输机构中的伸缩驱动部用于单独驱动对应的承载部，以将第一尺寸的硅片移进或移出硅片载具；且，多个伸缩传输机构中的承载部共同形成承载平面，承载平面用于承载第二尺寸的硅片，多个伸缩驱动部同步驱动相应的承载部，以将第二尺寸的硅片移进或移出硅片载具。该硅片输送装置能够兼容多尺寸的硅片，无需进行更换，节省硅片传输时间，有效保证硅片的输送效率。
主权项：1.一种硅片输送装置，其特征在于，包括：多个并排布置的伸缩传输机构100，每一所述伸缩传输机构100均包括承载部110和伸缩驱动部120，且所述承载部110传动连接于所述伸缩驱动部120；其中，至少一个所述伸缩传输机构100中的所述承载部110用于承载第一尺寸的硅片，至少一个所述伸缩传输机构100中的所述伸缩驱动部120用于单独驱动对应的所述承载部110，以将所述第一尺寸的硅片移进或移出硅片载具10；且，多个所述伸缩传输机构100中的所述承载部110共同形成承载平面，所述承载平面用于承载第二尺寸的硅片，多个所述伸缩驱动部120同步驱动相应的所述承载部110，以将所述第二尺寸的硅片移进或移出所述硅片载具10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 硅片输送装置及加工设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号