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申请/专利权人：合肥图迅电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种芯片污染物检测装置及检测方法，属于芯片外观检测技术领域。针对现有技术中存在的CMOS芯片内表面污染物和外表面污染物难以区分的问题，本发明利用芯片污染物检测装置中的两个相机组件同时拍摄待检测CMOS芯片得到两个不同位置的待检测CMOS图像，通过待检测CMOS图像中基准面关键点图像像素坐标和污染物关键点图像像素坐标得到基准面关键点世界坐标和污染物关键点世界坐标，将基准面关键点世界坐标拟合为平面，计算污染物关键点世界坐标到平面的距离，判断污染物为内表面污染物或外表面污染物，实现快速区分CMOS芯片内表面污染物和外表面污染物，提高CMOS芯片污染物的检测效率和检测精度。
主权项：1.一种芯片污染物检测装置，包括：第一相机组件1、第二相机组件2、光源3以及升降载物台4，所述光源3间隔设置在升降载物台4的正上方，所述第一相机组件1包括第一相机11和第一远心镜头12，第一远心镜头12的一端与第一相机11连接，所述第二相机组件2包括第二相机21和第二远心镜头22，第二远心镜头22的一端与第二相机21连接，其特征在于，所述第一相机组件1间隔设置在光源3的正上方，第二相机组件2设置在第一相机组件1一侧，第一相机组件1与第二相机组件2之间形成中心线夹角，第一相机组件1与第二相机组件2中心线夹角的角度设置在10°～30°之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥图迅电子科技有限公司 一种芯片污染物检测装置及检测方法
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