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申请/专利权人：恩特格里斯公司
摘要：描述用于在处理工件的步骤期间支撑所述工件的静电卡盘，所述静电卡盘包含在绝缘层上的电荷消散线的图案，所述线具有第一导电层及第二导电层且经布置以在所述线之间定义所述绝缘层的封闭场。
主权项：1.一种静电卡盘，其包括：绝缘层，其在所述卡盘的上表面处，电荷消散结构，其在所述绝缘层上，所述电荷消散结构包括：第一导电层，其在绝缘体层上，具有第一电阻率，及第二导电层，其在所述第一导电层上方，具有第二电阻率，其中所述第二电阻率高于所述第一电阻率，所述电荷消散结构包括在所述绝缘层的上表面上方延伸的互连拓扑结构，其中在所述互连拓扑结构之间存在所述绝缘层的暴露场，及一或多个电极，其在所述绝缘层下方，其中所述互连拓扑结构是定位于所述一或多个电极正上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恩特格里斯公司 具有电荷消散结构的静电卡盘
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