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显微镜和用于自动对焦的方法 

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申请/专利权人:卡尔蔡司显微镜有限责任公司

摘要:本发明涉及显微镜和用于自动对焦的方法。根据用于自动对焦到沿着显微镜光路成像的显微观察的样品01上的方法,产生用于自动对焦的、具有局部结构的测量光06。将测量光06耦入到显微镜光路中,由此测量光照射到样品01上并被样品反射。将被样品反射的测量光09从显微镜光路耦出并划分成多个子光路14,这些子光路经过不同长度的光程,以便成像反射的测量光09,由此获得配属于显微镜光路上的不同对焦位置的多个测量图像。至少选出测量图像中的最接近测量光6的局部结构的理想图像的那个测量图像。依赖于与所选出的测量图像相配属的对焦位置调整出在显微镜光路上的要被用于样品的显微成像的对焦位置。

主权项:1.用于自动对焦到沿着显微镜光路成像的显微观察的样品01上的方法,其中,所述方法包括以下步骤:-产生用于自动对焦的测量光06,所述测量光具有局部结构;-将所述测量光06耦入到所述显微镜光路中,由此所述测量光06照射到样品01上并被样品01反射;-将被样品01反射的测量光09从所述显微镜光路耦出并划分成多个子光路14,所述多个子光路经过不同长度的光程,以便成像所述反射的测量光09,由此获得配属于所述显微镜光路上的不同对焦位置的多个测量图像;-至少选出测量图像中的最接近所述测量光06的局部结构的理想图像的那个测量图像;并且-依赖于与所选出的测量图像相配属的对焦位置调整出在所述显微镜光路上的要被用于样品01的显微成像的对焦位置。

全文数据:

权利要求:

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