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申请/专利权人：TES股份有限公司
摘要：本发明作为关于一种气体挡板以及基板处理装置，更详细地关于一种在基板处理装置中在通过喷头向基板供应气体之前可以有效地分散气体的气体挡板。气体挡板具备：挡板，扩散使得从气体供应线供应的工艺气体扩散；以及多个开口部，从挡板的中央部朝向边缘呈放射状延伸来而使工艺气体通过，并相对于挡板沿着圆周方向倾斜地形成而分散使工艺气体分散。
主权项：1.一种气体挡板，设置于在进行针对基板的处理工艺的腔室形成的气体供应线的下方，其特征在于，所述气体挡板具备：挡板，使得从所述气体供应线供应的工艺气体扩散；以及多个开口部，从所述挡板的中央部朝向边缘呈放射状延伸而使所述工艺气体通过，并相对于所述挡板沿着圆周方向倾斜形成而使所述工艺气体分散。
全文数据：
权利要求：
百度查询： TES股份有限公司 气体挡板以及基板处理装置
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