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申请/专利权人：福建赛瑞特科技有限公司
摘要：本发明涉及氮化硅基板技术领域，具体涉及一种氮化硅基板的自动化生产设备，热压成型机，且两个热压成型机与输送机构的输入端连接，输送机构的输出端与堆叠工装连接；热压成型机内设置有监测系统，监测系统包括：采集模块，获取热压场景的热压实时数据；分析模块，根据热压实时数据，输出得到热压场景稳定值；监测模块，根据热压场景稳定值，进行判断分析，得到场景信号；调整模块，基于场景工艺不合格信号，对异常程度进行分析，实现对调整可能性进行判断，以及对调整数据进行生成，本发明通过对氮化硅基板在热压成型过程中，热压参数异常判断分析，根据所分析得到的结果进行影响程度判断和参数调整，保证后续氮化硅基板制备的质量。
主权项：1.一种氮化硅基板的自动化生产设备，其特征在于，包括：热压成型机1，设置有两个，且两个热压成型机1与输送机构2的输入端连接，输送机构2的输出端与堆叠工装3连接；热压成型机1包括氮化硅热压成型机1和氮化硼热压成型机1；热压成型机1内设置有监测系统，监测系统包括：采集模块，获取热压场景的热压实时数据；其中，热压场景按照热压时间进行划分，得到不同时间内的热压场景，热压实时数据包括压制温度和压制压力；分析模块，根据热压实时数据，输出得到热压场景稳定值；监测模块，根据热压场景稳定值，进行判断分析，得到场景信号；调整模块，基于场景工艺不合格信号，对异常程度进行分析，实现对调整可能性进行判断，以及对调整数据进行生成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建赛瑞特科技有限公司 一种氮化硅基板的自动化生产设备
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