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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆传送系统，该晶圆传送系统包括传送装置、检测装置和控制器；传送装置至少包括机械臂和至少两个晶圆工位；机械臂用于传送待传送晶圆；传送装置还包括至少一个晶圆盒载台；晶圆盒载台用于放置晶圆盒；检测装置包括分别设置于各晶圆工位的晶圆感测器；晶圆感测器用于对晶圆工位上待传送晶圆的放置状态进行检测，并输出晶圆感测信号；检测装置还包括分别设置于各晶圆盒载台的传感组件；传感组件用于检测晶圆盒载台上的晶圆盒的放置状态，并输出状态检测信号；控制器分别与各晶圆感测器、各传感组件和机械臂连接；控制器用于根据各晶圆感测器输出的晶圆感测信号，控制机械臂对各晶圆工位上的待传送晶圆的拾取状态。
主权项：1.一种晶圆传送系统，其特征在于，包括：传送装置、检测装置和控制器；所述传送装置至少包括机械臂和至少两个晶圆工位；所述机械臂用于传送待传送晶圆；所述传送装置还包括至少一个晶圆盒载台；所述晶圆盒载台用于放置晶圆盒；所述晶圆盒包括多个晶圆卡槽，所述晶圆卡槽用于卡合所述待传送晶圆；所述检测装置包括分别设置于各所述晶圆工位的晶圆感测器；所述晶圆感测器用于对所述晶圆工位上所述待传送晶圆的放置状态进行检测，并输出晶圆感测信号；所述检测装置还包括分别设置于各所述晶圆盒载台的传感组件；所述传感组件用于检测所述晶圆盒载台上的所述晶圆盒的放置状态，并输出状态检测信号；所述控制器分别与各所述晶圆感测器、各所述传感组件和所述机械臂连接；所述控制器用于根据各所述晶圆感测器输出的晶圆感测信号，控制所述机械臂对各所述晶圆工位上的待传送晶圆的拾取状态；所述控制器还用于根据各所述传感组件输出的所述状态检测信号，控制所述机械臂对各所述晶圆盒内的所述待传送晶圆的拾取状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 一种晶圆传送系统
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