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申请/专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种用于半导体制造的UV固化装置，包括：固化腔体、主光照模块、匀光模块、测量模块、两个以上补光模块及控制模块；固化腔体内设置有基座；主光照模块位于固化腔体上方；匀光模块位于主光照模块和基座之间，用于将各模块发出的UV光均匀分散至基座上方；测量模块用于测量经匀光模块匀光后的UV功率；各补光模块均包含至少一个UV灯，各补光模块的UV灯的实际功率之和小于主光照模块的标定功率之和的60%，且不同补光模块的UV灯的实际功率之和不同；控制模块与测量模块及各补光模块连接，以基于测量模块的测量结果启动相应的补光模块，使得匀光模块匀光后的UV功率满足工艺需求。本发明可以提高固化均匀性，降低生产成本，减少环境污染。
主权项：1.一种用于半导体制造的UV固化装置，其特征在于，包括：固化腔体、主光照模块、匀光模块、测量模块、两个以上补光模块及控制模块；所述固化腔体内设置有承载待固化衬底的基座；所述主光照模块位于固化腔体上方，包括至少一个UV灯；所述匀光模块位于主光照模块和基座之间，用于将主光照模块和补光模块发出的UV光均匀分散至基座上方；所述测量模块用于测量经匀光模块匀光后的UV功率；各补光模块均包含至少一个UV灯，各补光模块的UV灯的实际功率之和小于主光照模块的标定功率之和的60%，且不同补光模块的UV灯的实际功率之和不同；所述控制模块与测量模块及各补光模块连接，以基于测量模块的测量结果启动相应的补光模块，使得匀光模块匀光后的UV功率满足工艺需求。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 用于半导体制造的UV固化装置
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