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申请/专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
摘要：为了提供一种通过使用与基板相比电阻率低且层厚薄的低电阻率层作为缓冲层来抑制低电阻率层从基板的剥离和DC漂移并且电场效率高的光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置，光波导元件（1）具备：基板（5），形成有光波导（10）且具有电光效应；及多个控制电极（S、G），夹着光波导（10）而形成于基板（5）的正面侧，用于对光波导（10）施加电场，在基板（5）的多个控制电极（S、G）之间的正面的至少一部分和或基板（5）的背面的至少一部分形成有低电阻率层（9），低电阻率层（9）的电阻率比基板（5）低，低电阻率层（9）的厚度为200nm以下。
主权项：1.一种光波导元件，具备：基板，形成有光波导且具有电光效应；及多个控制电极，夹着所述光波导而形成于所述基板的正面侧，用于向所述光波导施加电场，其特征在于，在所述基板的所述多个控制电极之间的正面的至少一部分和或所述基板的背面的至少一部分形成有低电阻率层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友大阪水泥股份有限公司 光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置
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