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申请/专利权人：默克专利有限公司
摘要：[问题]本发明提供一种正型剥离抗蚀剂组合物。[解决方案]一种正型剥离抗蚀剂组合物，其包含具有特定的结构且cLogP为2.76～3.35的聚合物A、光酸产生剂B、及溶剂C。
主权项：1.一种正型剥离抗蚀剂组合物，其包含聚合物A、光酸产生剂B及溶剂C：其中，聚合物A的cLogP为2.76～3.35，聚合物A包含式A-1～A-4所示的重复单元中的至少一个，并且相对于100质量份聚合物A，溶解速度调节剂D的含量为0～1.0质量份，溶解速度调节剂D由式D-1所示， 其中，R11、R21、R41及R45各自独立地为C1-5烷基，其中，烷基中的-CH2-可被-O-替换；R12、R13、R14、R22、R23、R24、R32、R33、R34、R42、R43、及R44各自独立地为氢、C1-5烷基、C1-5烷氧基、或-COOH；p11为0～4，p15为1～2，p11+p15≤5，p21为0～5，p41为0～4，p45为1～2，p41+p45≤5；P31为C4-20烷基，其中，烷基的一部分或全部可形成环，烷基的一部分或全部H可被卤素取代； 式D-1中，nd1各自独立地为1、2或3，nd2各自独立地为0、1、2或3，Rd1各自独立地为C1-7烷基，Ld为C1-15的二价的亚烷基，其上可取代有可选地被羟基取代的芳基，也可与Ld以外的取代基形成环。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利有限公司 正型剥离抗蚀剂组合物及使用其来制造抗蚀剂图案的方法
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