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申请/专利权人：文华学院
摘要：本发明提供了一种纳米多孔氧化铝湿敏薄膜及其制备方法和应用，制备方法包括：在GaAs晶圆的上表面通过外延生长工艺生长初始AlXGa1‑XAs层，形成外延层；在外延层的上表面涂覆光刻胶，通过光刻工艺得到掩膜层；利用掩膜层对外延层进行干法刻蚀，并除去掩膜层，得到图形化AlXGa1‑XAs层；对图形化AlXGa1‑XAs层进行湿法氧化，得到纳米多孔氧化铝湿敏薄膜。本发明通过外延生长、光刻、干法刻蚀和湿法氧化等半导体微加工工艺，高效的制备了一种厚度可控、湿敏性稳定的纳米多孔氧化铝湿敏薄膜，并可将其应用于制备湿敏传感器。
主权项：1.一种纳米多孔氧化铝湿敏薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：S1、在GaAs晶圆的上表面通过外延生长工艺生长初始AlXGa1-XAs层，形成外延层；S2、在所述外延层的上表面涂覆光刻胶，通过光刻工艺得到掩膜层；S3、利用所述掩膜层对所述外延层进行干法刻蚀，并除去所述掩膜层，得到图形化AlXGa1-XAs层；S4、对所述图形化AlXGa1-XAs层进行湿法氧化，得到纳米多孔氧化铝湿敏薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 文华学院 一种纳米多孔氧化铝湿敏薄膜及其制备方法和应用
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