龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本申请提供了一种薄膜沉积装置及其薄膜沉积方法，所述薄膜沉积装置包括：支撑组件，用于将靶材、待镀膜基板以及参考基板分别固定在镀膜腔室的对应工位；离子束溅射组件，用于基于通入的气体以及所述靶材，在所述待镀膜基板以及所述参考基板表面进行镀膜；监控设备，用于监测所述参考基板表面上的镀膜参数，基于所述镀膜参数，调整通入所述离子束溅射组件中气体的工艺参数。使用所述离子束溅射组件制备薄膜的密度高于使用化学气相沉积法制备薄膜的密度。由于所述监控设备的存在，能实时监测所述参考基板表面沉积的薄膜参数，并能根据获取的薄膜参数进行调节，使得在所述待镀膜基板上形成薄膜的参数一致性更高，形成的薄膜性能更好。
主权项：1.一种薄膜沉积装置，其特征在于，包括：支撑组件，用于将靶材、待镀膜基板以及参考基板分别固定在镀膜腔室的对应工位；离子束溅射组件，用于基于通入的气体以及所述靶材，在所述待镀膜基板以及所述参考基板表面进行镀膜；监控设备，用于监测所述参考基板表面上的镀膜参数，基于所述镀膜参数，调整通入所述离子束溅射组件中气体的工艺参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种薄膜沉积装置及其薄膜沉积方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号