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申请/专利权人：旭化成微电子株式会社
摘要：本发明提供提高了耐振动性的气体传感器模块和带气体检测功能的设备。气体传感器模块20具备：气体传感器10，其具备框部14、支承框部的支承部13以及作为由框部和支承部围起来的空间且是供外部气体导入的中空部15，该气体传感器对导入到中空部的外部气体中所含的被检测气体进行检测；以及基板21，其与支承部相连接，基板的弯曲刚度评价值为2以上，该弯曲刚度评价值通过气体传感器的厚度相对于基板的厚度的第1比乘以气体传感器的杨氏模量相对于基板的杨氏模量的第2比而得。
主权项：1.一种气体传感器模块，其中，该气体传感器模块具备：气体传感器，其具备框部、支承所述框部的支承部以及作为由所述框部和所述支承部围起来的空间且是供外部气体导入的中空部，该气体传感器对导入到所述中空部的所述外部气体中所含的被检测气体进行检测；以及基板，其与所述支承部相连接，所述基板的弯曲刚度评价值为2以上，该弯曲刚度评价值通过所述气体传感器的厚度相对于所述基板的厚度的第1比乘以所述气体传感器的杨氏模量相对于所述基板的杨氏模量的第2比而得。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 旭化成微电子株式会社 气体传感器模块和带气体检测功能的设备
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