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申请/专利权人：安徽光智科技有限公司
摘要：本发明公开了一种硒化锌基膜系，包括硒化锌基底，在硒化锌基底的第一面上依次设置的第一YbF3膜、第一ZnSe膜、第二YbF3膜、第二ZnSe膜、第三YbF3膜和第三ZnSe膜，在硒化锌基底第二面上依次设置的第四YbF3膜和第四ZnSe膜，并设置各膜层厚度，提供的硒化锌基膜系对650nm波长的光的反射率高达96.5%以上，红外波长10.6μm的光的透过率高达99%以上，且膜层厚度薄，膜层之间的结合力较好。还公开了上述硒化锌基膜系的制备方法，通过调整制备工艺和各个工艺参数，提高各膜层之间的结合力，提高膜系结构的耐久性。
主权项：1.硒化锌基膜系，其特征在于，包括硒化锌基底，基底第一面上依次设置的第一YbF3膜、第一ZnSe膜、第二YbF3膜、第二ZnSe膜、第三YbF3膜和第三ZnSe膜，以及基底第二面上依次设置的第四YbF3膜和第四ZnSe膜；所述第一YbF3膜的厚度为783nm，所述第一ZnSe膜的厚度为209nm，所述第二YbF3膜的厚度为136nm，所述第二ZnSe膜的厚度为50nm，所述第三YbF3膜的厚度为128.6nm，所述第三ZnSe膜的厚度为50nm，所述第四YbF3膜的厚度为1023nm，所述第四ZnSe膜的厚度为232nm。
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权利要求：
百度查询： 安徽光智科技有限公司 硒化锌基膜系及其制备方法
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