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申请/专利权人：江苏晶盛旺新材料科技有限公司
摘要：本发明提供了应用于缺陷检测领域的一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置，包括机架，机架上设有用于输送坩埚的传输带和用于检测坩埚缺陷的图像采集机构，机架上还设有拓印机构，拓印机构包括端盖，端盖的底部固定有内柱体，内柱体外侧套接有囊体，端盖的顶部固定有缸体，缸体的顶部设有驱动杆，驱动杆上固定有与缸体相匹配的活塞，活塞的底部固定有锁紧杆；本发明通过带有囊体、内柱体的拓印机构，无需将CCD相机延伸至坩埚内，进行图像采集，适用于口径较小或口径与相机尺寸不匹配的坩埚缺陷检测，检测效率高，具有市场前景，适合推广应用。
主权项：1.一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置，包括机架1，所述机架1上设有用于输送坩埚的传输带3和用于检测坩埚缺陷的图像采集机构6，其特征在于，所述机架1上还设有拓印机构9，所述拓印机构9包括端盖94，所述端盖94的底部固定有内柱体93，所述内柱体93外侧套接有囊体92，所述端盖94的顶部固定有缸体96，所述缸体96的顶部设有驱动杆91，所述驱动杆91上固定有与缸体96相匹配的活塞914，所述活塞914的底部固定有锁紧杆915；所述缸体96内填充有磁流变液，所述内柱体93内封装有电磁块931，所述内柱体93与囊体92间设有密闭的塑形仓，所述内柱体93的底部设有排放通道932，所述内柱体93通过排放通道932与塑形仓连通设置，所述端盖94与坩埚端口对合位置设有密封垫941，所述囊体92通过密封垫941与坩埚内壁间形成仿形仓，所述端盖94的顶部一侧还设有用于为仿形仓内提供负压的气口95；所述机架1上还设有升降机构5，所述升降机构5驱动拓印机构9上下位移并为拓印机构9提供下压力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏晶盛旺新材料科技有限公司 一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置
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