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激光气体检测装置 

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申请/专利权人:英特磊半导体技术(上海)股份有限公司

摘要:本发明公开了一种激光气体检测装置,属于气体检测技术领域。该激光气体检测装置包括:遥测模块,配置为对待测点处的气体进行定性检测并包括发出第一检测激光和第二检测激光的检测激光器,第一检测激光用于遥测;吸入检测模块,配置为对待测点处的气体进行定量检测,第二检测激光进入吸入检测模块,用于吸入检测;指示激光器,配置为发出指示激光;合束器,配置为将第一检测激光和指示激光进行合束后射出;检偏器,包括第一检偏器,配置为使检测激光以预设线偏振角射出;第二检偏器,配置为对接收到的反射光的线偏振角进行检测。本发明提供的激光气体检测装置实现了对远距离待测点的气体同时进行定性检测和定量检测,并对检测激光进行校准。

主权项:1.一种激光气体检测装置,包括:遥测模块,配置为对待测点处的气体进行定性检测,所述遥测模块包括检测激光器,所述检测激光器发出的检测激光包括第一检测激光和第二检测激光,所述第一检测激光用于遥测;吸入检测模块,配置为对待测点处的气体进行定量检测,所述第二检测激光进入所述吸入检测模块,用于吸入检测;指示激光器,配置为发出指示激光;合束器,配置为将所述第一检测激光和所述指示激光进行合束后从所述激光气体检测装置射出;检偏器,包括:第一检偏器,设置在所述激光气体检测装置的激光发射区域内,配置为使所述第一检测激光以预设线偏振角射出;第二检偏器,设置在所述激光气体检测装置的激光接收区域内,配置为对接收到的来自所述待测点处的反射光的线偏振角进行检测。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 英特磊半导体技术(上海)股份有限公司 激光气体检测装置

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