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一种均温型长热场碳化硅高温烧结炉 

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申请/专利权人:铜陵市祥云碳化硅烧结设备有限公司

摘要:本发明公开了烧结炉技术领域的一种均温型长热场碳化硅高温烧结炉,包括:炉体、冷却装置、真空组件以及控制器,所述炉体内设有烧结腔,所述炉体的两端均设有炉盖,两个所述炉盖上均设有第一加热件,所述炉盖上设有密封组件;所述烧结腔的内腔沿烧结腔长度延伸方向依次分为若干个空腔,所述烧结腔的四周均设有若干个第二加热件,若干个所述第二加热件分别对若干个空腔进行加热,所述烧结腔上设有若干个温度传感器与真空度检测器,本申请中通过均匀设在烧结腔四周的若干个第二加热件以及设在炉盖上的第一加热件,使加热设备均匀覆盖烧结腔,保证烧结腔内部形成一个均温型长热场,确保烧结的产品不会出现差异。

主权项:1.一种均温型长热场碳化硅高温烧结炉,包括:炉体(1)、冷却装置(4)、真空组件(5)以及控制器(6),所述炉体(1)内设有烧结腔(2),所述炉体(1)的两端均设有炉盖(3),其特征在于:两个所述炉盖(3)上均设有第一加热件(7),所述炉盖(3)上设有密封组件(8),以对炉体(1)与炉盖(3)进行双重封堵;所述烧结腔(2)的内腔沿烧结腔(2)长度延伸方向依次分为若干个空腔,所述烧结腔(2)的四周均设有若干个沿烧结腔(2)长度延伸方向依次间隔排布的第二加热件(10),若干个所述第二加热件(10)分别对若干个空腔进行加热,所述烧结腔(2)上设有若干个沿烧结腔(2)长度延伸方向依次间隔排布的温度传感器(11)与真空度检测器(12),若干个所述温度传感器(11)与若干个真空度检测器(12)分别检测若干个空腔内部的温度和真空度,并将其传输到控制器(6)上,在若干个空腔之间的温度或真空度出现差异时,控制器(6)分别调整若干个第二加热件(10)的加热功率,同时控制器(6)调节真空组件(5)的抽气功率;所述密封组件(8)包括设在炉盖(3)上的第一密封环(81)以及第二密封环(82),所述第二密封环(82)处于第一密封环(81)的内侧且两者呈同心圆设置,所述炉体(1)的端部设有环形开槽(9),以供第一密封环(81)插入,所述第二密封环(82)的外径等于炉体(1)内腔的直径;所述第二密封环(82)包括两个第一弧形块(821)与两个第二弧形块(822),所述炉盖(3)上设有用于驱使第一弧形块(821)、第二弧形块(822)向炉盖(3)中心移动的驱动件,所述第二弧形块(822)的两端均设有挡板(823)。

全文数据:

权利要求:

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