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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所

摘要：本发明属于气体放电及激光应用领域中的气体激光器，具体地说是一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器，包括真空腔体、电激励系统、密封系统组件、供气系统、真空抽气系统、真空监测系统、高压监测系统、泵浦及出光系统，真空腔体经密封系统组件密封后由真空抽气系统排出真空腔体内空气，当真空监测系统测试真空腔体内气压符合低气压条件时，再由供气系统注入设定比例的惰性气体，注入惰性气体的总压由高压监测系统检测；注入惰性气体后的真空腔体由电激励系统控制产生亚稳态粒子，并由泵浦及出光系统激发产生粒子数反转，从而实现所需要的波长激光输出。本发明结构简单，易于操作，避免了介质阻挡放电装置及真空腔体独立设计带来的复杂性。

主权项：1.一种扁—圆一体化结构型介质阻挡放电半导体泵浦惰性气体激光器，其特征在于：包括真空腔体1、电激励系统、密封系统组件、供气系统、真空抽气系统、真空监测系统、高压监测系统和泵浦及出光系统，其中真空腔体1为中空结构，中间为扁管、两端为圆管，所述电激励系统包括金属电极2及高压交流电源3，所述扁管的上下两侧均安装有金属电极2，所述高压交流电源3的高压输出端通过导线4与扁管上侧的金属电极2连接，所述高压交流电源3的接地端通过导线4与扁管下侧的金属电极2及地线5连接；所述真空腔体1的两端均连接有密封系统组件，所述密封系统组件包括法兰圆筒8及玻璃窗口11，每端的所述法兰圆筒8的一端均与同端的真空腔体1的圆管密封连接，每端的所述法兰圆筒8的另一端均密封安装有玻璃窗口11，所述供气系统、真空抽气系统、真空监测系统及高压监测系统分别与法兰圆筒8相连通；所述泵浦及出光系统包括泵浦源33、光隔离器34、高反镜A35、聚焦透镜36、二向色镜37、输出耦合镜38、高反镜B39、光纤探头42、光纤43及光谱仪44，由所述泵浦源33发出的泵浦源激光40经过光隔离器34并通过高反镜A35反射后再依次通过聚焦透镜36、二向色镜37由真空腔体1一端的密封系统组件投射入真空腔体1内，经过所述电激励系统的放电区后由真空腔体1另一端的密封系统组件输出出射激光41，所述出射激光41经过输出耦合镜38并通过高反镜B39反射后投射入光纤探头42，通过所述光纤43由光谱仪44监测输出波长及展宽。

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