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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种液体排放装置、液体排放方法及半导体处理设备，液体排放装置包括顶部设有槽口的槽体，以及盖设在所述槽口处的盖体，所述槽体的底板上设有排液口，所述液体排放装置还包括至少三个贯穿所述盖体设置的进气管，用于向所述槽体内喷气，每个所述进气管喷出的气流方向相对水平面斜向下，以使容置在所述槽体内的液体形成涡流。本申请的进气管向槽体内喷气可以使容置在槽体内的液体形成涡流，槽体内的液体向涡流聚拢并从排液口加速排出，特别是当液面下降至快见底的时候，可以避免液体长时间积存，液体加速排出的效果更加显著。
主权项：1.一种液体排放装置，其特征在于，包括：顶部设有槽口的槽体，所述槽体的底板上设有排液口；盖设在所述槽口处的盖体；至少三个贯穿所述盖体设置的进气管，所述进气管用于向所述槽体内喷气，每个所述进气管喷出的气流方向相对水平面斜向下，以使容置在所述槽体内的液体形成涡流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种液体排放装置、液体排放方法及半导体处理设备
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