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使用光谱量测装置的检测系统 

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申请/专利权人:谱钜科技股份有限公司

摘要:本发明提供一种使用光谱量测装置的检测系统。检测系统包括:取样模块及至少两个光谱量测装置,取样模块用以将照明光束提供至待测物并将待测物所反射出的至少两个量测光束收集至至少两个光谱量测装置,照明光束具有照明光波段;至少两个光谱量测装置包括第一光谱量测装置以及第二光谱量测装置,第一光谱量测装置包括数字微镜装置,至少两个量测光束包括传递至第一光谱量测装置的第一量测光束及传递至第二光谱量测装置的第二量测光束,第一光谱量测装置检测第一量测光束的处于照明光波段的一部分,同时第二光谱量测装置检测第二量测光束的处于照明光波段的另一部分。本发明提供一种使用光谱量测装置的检测系统可以快速检测大波长范围的光谱。

主权项:1.一种使用光谱量测装置的检测系统,用以检测待测物,其特征在于,所述检测系统包括:取样模块以及组装至所述取样模块的至少两个光谱量测装置,其中所述取样模块用以将照明光束提供至所述待测物并将所述待测物所反射出的至少两个量测光束收集至所述至少两个光谱量测装置,其中所述照明光束具有照明光波段,所述至少两个量测光束具有所述照明光波段;所述至少两个光谱量测装置包括第一光谱量测装置以及第二光谱量测装置,所述第一光谱量测装置包括数字微镜装置,所述至少两个量测光束包括传递至所述第一光谱量测装置的第一量测光束及传递至所述第二光谱量测装置的第二量测光束,其中所述第一光谱量测装置用以检测所述第一量测光束的处于所述照明光波段的一部分,同时所述第二光谱量测装置用以检测所述第二量测光束的处于所述照明光波段的另一部分。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 谱钜科技股份有限公司 使用光谱量测装置的检测系统

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