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申请/专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种工作台运动控制方法、装置、电子设备及介质，该方法包括：使用第一干涉仪获取工作台运动时X轴的移动距离和X轴对应动坐标系的误差、Y轴的移动距离和Y轴对应动坐标系的误差，得到第一数据，使用第二干涉仪获取工作台运动时X轴与Y轴的垂直度误差，得到第二数据，世界坐标系的坐标轴包括X、Y轴，工作台承载待加工工件；根据第一数据、第二数据和运动控制器的第一参数获得第一补偿数据，其包括对应X、Y轴的补偿数据；将运动控制器中的内部补偿数据更新为第一补偿数据，运动控制器根据内部补偿数据控制工作台的运动；在将内部补偿数据更新为第一补偿数据之后，使用运动控制器控制工作台运动至指定的工件加工位置。
主权项：1.一种工作台运动控制方法，其特征在于，包括：使用第一干涉仪，获取工作台运动时X轴的移动距离和X轴对应动坐标系的误差、Y轴的移动距离和Y轴对应动坐标系的误差，得到第一数据，以及使用第二干涉仪，获取所述工作台运动时X轴与Y轴的垂直度误差，得到第二数据，其中，世界坐标系的坐标轴包括X轴和Y轴，所述工作台用于承载待加工工件；根据所述第一数据、所述第二数据和运动控制器的第一参数，获得第一补偿数据，所述第一补偿数据包括对应X轴的补偿数据和对应Y轴的补偿数据；将所述运动控制器中的内部补偿数据更新为所述第一补偿数据，所述运动控制器用于根据内部补偿数据控制所述工作台的运动；在将所述运动控制器中的内部补偿数据更新为所述第一补偿数据之后，使用所述运动控制器控制所述工作台运动至指定的工件加工位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市大族数控科技股份有限公司 工作台运动控制方法、装置、电子设备及介质
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