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光学检查方法、存储有光学检查程序的存储介质以及光学检查装置 

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申请/专利权人:株式会社东芝;东芝情报系统株式会社

摘要:本发明的实施方式涉及光学检查方法、存储有光学检查程序的存储介质以及光学检查装置。提供能够获取物体的信息的光学检查方法。根据实施方式,光学检查方法包括:利用波长选择部选择性地使来自物点的包括至少两个不同的波长谱的光通过,利用具有能够接受波长谱的光的至少两个颜色通道的拍摄部对物点进行拍摄;基于针对物点的至少两个颜色通道中的受光数据,使至少两个不同的波长谱的光成为分别具有不同的方向的信号向量;以及基于信号向量的方向,对物点处的光的方向分布的离散度进行推定处理。

主权项:1.一种光学检查方法,包括:利用波长选择部使来自物点的包括至少两个不同的波长谱的光选择性地通过,利用具有能够接受所述波长谱的光的至少两个颜色通道的拍摄部对所述物点进行拍摄;基于针对所述物点的所述至少两个颜色通道中的受光数据,使所述至少两个不同的波长谱的光成为分别具有不同的方向的信号向量;以及基于所述信号向量的方向,对所述物点处的所述光的方向分布的离散度进行推定处理。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社东芝 东芝情报系统株式会社 光学检查方法、存储有光学检查程序的存储介质以及光学检查装置

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