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申请/专利权人：东莞广达智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种多工位高效芯片检测装置，包括机架，机架上设有芯片上下料运输机构、芯片上下料搬运机构、治具移载机构、治具翻转驱动机构、检测治具、CCD视觉检测机构和不良品运输机构，本发明的结构设计合理，可完成芯片的自动上下料运输、芯片的自动化转移搬运、芯片的正面检测、翻转后的芯片侧面检测、不良品的分料搬运等一系列自动化作业，自动化程度高，运行稳定可靠，使用方便，可实现芯片的批量检测，大大提高了检测效率，并且设备的体积小，降低了设备的使用成本。
主权项：1.一种多工位高效芯片检测装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有用于将装载有待检测芯片的上下料载盘输送至检测治具一侧和将装载有已检测芯片的上下料载盘往回输出的芯片上下料运输机构，用于将芯片上下料运输机构输送过来的上下料载盘上的待检测芯片搬运到检测治具、将检测治具上的良品芯片搬运回上下料载盘和将检测治具上的不良品芯片搬运至不良品运输机构的不良品载盘的芯片上下料搬运机构，用于带动检测治具在CCD视觉检测机构的下方进行移动的治具移载机构，用于带动检测治具进行翻转的治具翻转驱动机构，用于对检测治具上的芯片进行检测的CCD视觉检测机构，以及用于将空的不良品载盘输入和将装载有不良品芯片的不良品载盘往回输出的不良品运输机构，所述芯片上下料运输机构和不良品运输机构分别沿Y轴方向安装在机架上，所述治具移载机构和CCD视觉检测机构分别安装在芯片上下料运输机构的后侧，所述治具翻转驱动机构安装在治具移载机构上并由治具移载机构带动在X轴和或Y轴方向上进行移动，所述CCD视觉检测机构架设在治具翻转驱动机构的上方，所述治具翻转驱动机构上设有检测治具，所述治具翻转驱动机构能够带动检测治具进行90度来回翻转，所述检测治具上设有若干个沿X轴方向排列的真空吸料槽，所述芯片上下料搬运机构架设在芯片上下料运输机构和不良品运输机构的上方，所述芯片上下料搬运机构的搬料部位能够移动至芯片上下料运输机构、检测治具和不良品运输机构。
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权利要求：
百度查询： 东莞广达智能科技有限公司 多工位高效芯片检测装置
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