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申请/专利权人：南轩(天津)科技有限公司
摘要：本发明涉及背封机定心台技术领域，具体公开了一种硅片背封机定心台，包括：背封机主体，背封机主体内部设有定心台；背封头，背封头位于背封机主体内部，背封头能够对定心台上方的硅片进行覆膜；夹持机构，夹持机构位于定心台内部；驱动件，驱动件位于滑轨下方；检测机构，检测机构位于定心台一侧，本发明能够在硅片进入背封机准备背面覆膜时，通过承载台下方的驱动件驱动夹持机构对硅片进行夹持，在覆膜完成后通过检测机构对硅片表面平整度进行检测，确保背封层均匀、无气泡、无裂纹，在背封完成后，背封头离开硅片时通过检测机构驱动分离件，使承载台不再与定心台固定，方便硅片通过滑轨进入下一加工步骤。
主权项：1.一种硅片背封机定心台，包括：背封机主体（1），所述背封机主体（1）内部设有定心台（11），所述背封机主体（1）内部设有滑轨（12），所述滑轨（12）贯穿背封机主体（1），所述滑轨（12）上方滑动连接有承载台（13），所述承载台（13）上方承载硅片（14）；其特征在于：还包括：背封头（2），所述背封头（2）位于背封机主体（1）内部，所述背封头（2）能够对定心台（11）上方的硅片（14）进行覆膜；夹持机构（3），所述夹持机构（3）位于定心台（11）内部，所述夹持机构（3）能够对硅片（14）进行夹持；驱动件（4），所述驱动件（4）位于滑轨（12）下方，所述驱动件（4）能够通过承载台（13）滑动对夹持机构（3）提供驱动力；检测机构（5），所述检测机构（5）位于定心台（11）一侧，所述检测机构（5）能够在背封头（2）对硅片（14）覆膜后检测背封是否完整。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南轩(天津)科技有限公司 一种硅片背封机定心台
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