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一种多晶硅片切片加工用可回收废料装置 

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申请/专利权人:泰州东鼎光电科技有限公司

摘要:本发明涉及多晶硅片切片加工技术领域,且公开了一种多晶硅片切片加工用可回收废料装置,包括收集组件、晶块、固定组件、调节组件、限位组件和推动组件,收集组件用于对加工产生的废料进行收集,固定组件用于对晶块进行固定且便于将混合液进行回收,调节组件用于对切片厚度进行调节,通过设置收集组件,可实现润滑液的循环利用,节约资源;通过设置调节组件,从而可以方便调节切片的厚度,增加设备的适用性;通过设置限位组件,防止切割线在对晶块进行切片时晶块发生撬动从而影响产品质量;通过设置推动组件,便于保持切片的厚度进行切片;通过设置集粉组件,可实现润滑液的循环利用,节约资源。

主权项:1.一种多晶硅片切片加工用可回收废料装置,包括收集组件(100)、晶块(120)、固定组件(200)、调节组件(300)、限位组件(400)和推动组件(500),收集组件(100)用于对加工产生的废料进行收集,固定组件(200)用于对晶块(120)进行固定,调节组件(300)用于对切片厚度进行调节,限位组件(400)用于对晶块(120)进行辅助固定,推动组件(500)用于对晶块(120)切割后进行推动,其特征在于:所述固定组件(200)位于收集组件(100)上方,调节组件(300)位于固定组件(200)和收集组件(100)之间,限位组件(400)位于固定组件(200)上方,推动组件(500)位于固定组件(200)一侧;收集组件(100)包括有第一支板(101)、集粉组件(107)和集液仓(105),第一支板(101)位于集粉组件(107)上方,集液仓(105)位于第一支板(101)下方;固定组件(200)包括有固定器(201),固定器(201)中间部分为弧形凹槽,固定器(201)底部中间位置开设有第二导流口(203),固定器(201)内部两侧开设有第一滑槽(204),固定器(201)内底面一侧高度高于另一侧且坡度均匀;调节组件(300)包括有挡板(301)、连接支板(304)、第一连接杆(308)和第五支板(309),连接支板(304)上开设有第二滑槽(305),挡板(301)下部固定安装有第一滑鳍(303),第一滑鳍(303)与第二滑槽(305)契合,固定器(201)底部两侧均固定安装有一个第五支板(309),第五支板(309)两侧均贯穿活动安装一个第一连接杆(308)。

全文数据:

权利要求:

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