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申请/专利权人：内蒙古沐邦新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种多晶提纯炉的炉压控制方法，包括在多晶提纯炉外设置滑阀泵，多晶提纯炉主阀接口与滑阀泵连接，还包括对多晶提纯炉设置惰性气体通入管，多晶提纯炉上还设有质量流量控制器；所述质量流量控制器监控多晶提纯炉内压力和惰性气体通入管的气体流量；滑阀泵启动通过主阀接口对多晶提纯炉抽真空，同时惰性气体通过惰性气体通入管送入多晶提纯炉，质量流量控制器监控多晶提纯炉内压力和惰性气体通入管的气体流量。本发明与现有技术相比的优点在于：提供一种解决和消除拉弧，方便炉压控制使用的一种多晶提纯炉的炉压控制方法。
主权项：1.一种多晶提纯炉的炉压控制方法，其特征在于：包括在多晶提纯炉外设置滑阀泵，多晶提纯炉主阀接口与滑阀泵连接，还包括对多晶提纯炉设置惰性气体通入管，多晶提纯炉上还设有质量流量控制器；所述质量流量控制器监控多晶提纯炉内压力和惰性气体通入管的气体流量；滑阀泵启动通过主阀接口对多晶提纯炉抽真空，同时惰性气体通过惰性气体通入管送入多晶提纯炉，质量流量控制器监控多晶提纯炉内压力和惰性气体通入管的气体流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古沐邦新材料有限公司 一种多晶提纯炉的炉压控制方法
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