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申请/专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
摘要：本发明提出了一种制程工艺平台的方形基片传送系统，能够更加精确地对基片进行定位，并抑制基片的滑动。该方形基片传送系统，包括：基片台，基片台包括：顶针，用于沿第一方向支撑基片；多个基片台定位块，被配置为沿第二方向以及第三方向对基片的边缘进行定位；传送机械手，用于将基片传送到基片台或者从基片台转移基片，传送机械手具有末端执行器，末端执行器包括：末端支撑件，被配置为在与顶针支撑基片的位置错位的位置，沿第一方向支撑基片；多个末端定位块，被配置为在与多个基片台定位块对基片进行定位的边缘位置错位的位置，沿第二方向以及第三方向对基片进行定位。
主权项：1.制程工艺平台的方形基片传送系统，其特征在于，包括：基片台，所述基片台包括：顶针，用于沿第一方向支撑基片；多个基片台定位块，被配置为沿第二方向以及第三方向对所述基片的边缘进行定位，其中，所述第二方向与所述第一方向正交，所述第三方向分别与所述第一方向以及所述第二方向正交；传送机械手，用于将所述基片传送到所述基片台或者从所述基片台转移所述基片，所述传送机械手具有末端执行器，所述末端执行器包括：末端支撑件，被配置为在与所述顶针支撑所述基片的位置错位的位置，沿所述第一方向支撑所述基片；多个末端定位块，被配置为在与多个所述基片台定位块对所述基片进行定位的边缘位置错位的位置，沿所述第二方向以及所述第三方向对所述基片进行定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市矩阵多元科技有限公司 制程工艺平台的方形基片传送系统
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