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申请/专利权人：度亘核芯光电技术(苏州)有限公司
摘要：本发明提供了一种散热装置及外延片加热装置，涉及外延片加热装置的技术领域，散热装置包括基座、基座上设置有呈阵列排布的安装位置，基座内部设置有沿阵列纵向延伸的第一总流道和第二总流道，以及沿阵列横向延伸的第一汇流流道和第二汇流流道；每一横行安装位置下方均设置有第一汇流流道和第二汇流流道；每个安装位置上均设置有与第一汇流流道连通的第一支路流道，以及与第二汇流流道连通的第二支路流道；纵向上，第一汇流流道的长度小于第二汇流流道的长度；至少存在一个安装位置为电极安装位置，电极安装位置上具有沿竖向延伸的电极安装部。
主权项：1.一种散热装置，其特征在于，包括：基座（100）、所述基座（100）上设置有呈阵列排布的多个安装位置，所述安装位置用于安装散热座（200）；所述基座（100）内部设置有沿所述阵列纵向延伸的第一总流道（120）和第二总流道（130），以及沿所述阵列横向延伸的第一汇流流道（140）和第二汇流流道（150），所述第一汇流流道（140）与第一总流道（120）连通，所述第二汇流流道（150）与第二总流道（130）连通；每一横行安装位置下方均设置有所述第一汇流流道（140）和第二汇流流道（150）；每个所述安装位置上均设置有与所述第一汇流流道（140）连通的第一支路流道（160），以及与所述第二汇流流道（150）连通的第二支路流道（170）；纵向上，所述第一汇流流道（140）的长度小于所述第二汇流流道（150）的长度；竖向上，所述第一汇流流道（140）的长度大于所述第二汇流流道（150）的长度；所述横向、纵向和竖向彼此垂直；至少存在一个安装位置为电极安装位置（180），所述电极安装位置（180）上具有沿竖向延伸的电极安装部（181），所述电极安装位置（180）下方的第一汇流流道（140）和第二汇流流道（150）与该电极安装位置（180）上的电极安装部（181）沿纵向排布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 度亘核芯光电技术(苏州)有限公司 散热装置及外延片加热装置
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