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申请/专利权人：赛峰着陆系统
摘要：本发明涉及一种通过气相化学渗透来致密化具有中心通道21a的多孔环形基板21的方法，该方法至少包括以下步骤：提供多孔环形基板21的堆叠20，提供多个单独的模块30，其包括布置在支撑板31上的堆叠20，支撑板31包括穿孔注射管33，每个注射管安装在气体入口开口32上，形成成堆的单独的模块。使用环形密封件35以密封方式对齐成堆的单独模块30，所述环形密封件35布置在第二单独模块30b的注射管33和与其协作的第一单独模块30a的气体入口开口32之间，向多孔环形基板21的每个堆叠20的内部体积24中注入含有待沉积在基板21的孔隙内的基体材料的气态前体的气相。
主权项：1.通过压力梯度化学气相渗透对具有中心通道21a的多孔环形基板21进行致密化的方法，该方法至少包括以下步骤:-提供多个多孔环形基板21的堆叠20，每个堆叠20包括由堆叠的基板21的中心通道21a形成的内部体积24，-提供多个单独的模块30，每个单独的模块30包括支撑板31和布置在支撑板31上的多孔环形基板21的堆叠20，对于每个堆叠20，支撑板31包括通向内部体积24的气体入口开口32，-在致密化炉的室内形成单独的模块30的堆叠，安装在第二单独的模块30b上的第一单独的模块30a的支撑板31的每个气体入口开口32与第二单独的模块30b的堆叠20之一的内部体积24连通，以使得气体在单独的模块30之间循环，并且-将包含待沉积在基板21的孔内的基质材料的气态前体的气相注入到多孔环形基板21的每个堆叠20的内部体积24中，其特征在于，对于由第一单独的模块30a覆盖的每个第二单独的模块30b，每个堆叠20包括至少一个盖环25、密封环23和可变形环形密封件36；所述盖环25通过环形间隔件22支撑在多孔环形基板21的堆叠的顶部上，所述密封环23围绕环形间隔件22布置在垂直于多孔环形基板21堆叠的方向Dz的平面内，并且可变形环形密封件36设置在至少一个盖环25和所述第一单独的模块30a的支撑板31之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛峰着陆系统 用于半强制流动的多层板的工具
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