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申请/专利权人：宁波泰睿思微电子有限公司
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种识别晶圆传送盒的压点错误的方法及识别装置。公开了一种读取晶圆传送盒底部压点上的晶圆相关信息，根据晶圆相关信息获取第一范围；设置激光传感模块以检测被匀速移出晶圆传送盒的晶圆；根据激光传感模块检测的数据获取第一数据；对第一数据和第一范围进行比较操作，当第一数据不在第一范围内时，发出警报并暂停对晶圆进行的相关作业；本申请通过对激光传感模块检测的第一数据与第一范围进行比较，当第一数据不在第一范围内时，确定当前晶圆尺寸与压点的晶圆相关信息所包含的晶圆尺寸不符，发出警报并暂停对晶圆进行的相关作业，从而避免机械手取片点位发生错误而导致的晶圆破碎的情况发生，提高了晶圆的加工安全性，保证了晶圆的生产质量和产品良率。
主权项：1.一种识别晶圆传送盒的压点错误的方法，其特征在于，包括步骤：读取晶圆传送盒底部压点上的晶圆相关信息，根据所述晶圆相关信息获取第一范围；设置激光传感模块以检测被匀速移出所述晶圆传送盒的晶圆；根据激光传感模块检测的数据获取第一数据；对所述第一数据和所述第一范围进行比较操作，当所述第一数据不在所述第一范围内时，发出警报并暂停对晶圆进行的相关作业。
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