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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明公开一种基于半球形壳体和光学环形谐振器的新型光机陀螺仪，应用于惯性测量领域，针对传统微半球陀螺仪存在的加工工艺复杂、生产成本高、成品率低、可靠性差等关键技术问题。本发明展示了一种新型光机械陀螺仪，其结合了壳谐振器和光学环形腔谐振器的原理，以增强陀螺仪的性能。本发明以多环光腔作为传感元件替代了传统的电容检测结构，可以间接检测谐振频率的位移。结果表明，本发明的陀螺仪在发现弱角速度和弱振动方面有较好的性能，使其对角速度和角振动检测更加敏感。本发明利用腔光力系统独特的光机械耦合效应来提高微半球谐振腔的机械品质因数。
主权项：1.一种基于半球形壳体和光学环形谐振器的新型光机陀螺仪，其特征在于，包括：一个底部基座；一个位于底部基座上方的二氧化硅层；一个位于二氧化硅层中央的半球壳形振荡器；一个连接底部基座并用于支撑半球壳形振荡器的圆柱形支撑杆；四个嵌入二氧化硅层的驱动电极；四个位于二氧化硅层上的光学环形谐振器；所述四个驱动电极与四个光学环形谐振器在半球壳形振荡器外围依次交叉间隔分布；所述四个驱动电极用于诱导半球壳形振荡器的初级谐振模式；所述四个光学环形谐振器用于检测半球壳形振荡器的二次谐振模式。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种基于半球形壳体和光学环形谐振器的新型光机陀螺仪
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