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申请/专利权人：复远芯(上海)科技有限公司
摘要：本申请提供一种压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法，涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造技术领域。压电谐振式压力传感器包括谐振组件、压电组件、连接组件以及压力敏感组件。谐振组件设有谐振腔。压电组件设于谐振组件的一侧，连接组件连接于所述压电组件背离所述谐振组件的一侧且直接或间接地与外接电路连接。压力敏感组件设于压电组件背离谐振组件的一侧，压力敏感组件用于接收待检测压力，压力敏感组件包括受压区域。沿谐振组件至压力敏感组件的方向，谐振腔的投影至少部分落入受压区域内。根据本申请示例提供的压电谐振式压力传感器，可以扩大压电谐振式压力传感器测量压力的范围，进而扩大压电谐振式压力传感器的使用范围。
主权项：1.一种压电谐振式压力传感器，应用于电子核心产业，其特征在于，包括：谐振组件，设有谐振腔；压电组件，设于所述谐振组件的一侧；连接组件，连接于所述压电组件背离所述谐振组件的一侧，所述连接组件直接或间接地与外接电路连接；压力敏感组件，设于所述连接组件背离所述压电组件的一侧，所述压力敏感组件用于接收待检测压力，所述压力敏感组件包括受压区域；其中，沿所述谐振组件至所述压力敏感组件的方向，所述谐振腔的投影至少部分落入所述受压区域内。
全文数据：
权利要求：
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