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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种MEMS压电谐振器，该MEMS压电谐振器包括衬底、绝缘层、谐振结构、驱动电极、压电层和感应电极。其中，衬底具有空腔；绝缘层设置于衬底上；谐振结构通过锚点锚固于绝缘层上，谐振结构包括间隔设置的第一谐振体和第二谐振体；驱动电极设置于谐振体上；压电层设置于驱动电极上；感应电极设置于压电层上。本方案可以提高MEMS压电谐振器的Q值。
主权项：1.一种MEMS压电谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有空腔；绝缘层，所述绝缘层设置于所述衬底上；谐振结构，所述谐振结构通过锚点锚固于所述绝缘层上，所述谐振结构包括间隔设置的第一谐振体和第二谐振体；驱动电极，所述驱动电极设置于所述谐振体上；压电层，所述压电层设置于所述驱动电极上；感应电极，所述感应电极设置于所述压电层上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS压电谐振器
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