龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：SOITEC公司
摘要：本发明涉及一种复合结构的制造方法，该复合结构包括布置在支撑衬底上的第一单晶层薄层，该制造方法包括：a提供第二多晶材料的起始衬底的步骤，b通过旋涂，至少在所述起始衬底的一个正面上沉积包含预形成的三维碳‑碳键的聚合物树脂层的步骤，c在120℃和180℃之间的温度下对设有聚合物树脂层的起始衬底进行第一次退火步骤，以形成交联聚合物树脂层，d在中性气氛下在大于600℃的温度下进行第二次退火步骤，以将交联聚合物树脂层转变成玻璃碳膜。本发明还涉及一种复合结构，其包括布置在支撑衬底上的第一单晶材料薄层，所述支撑衬底包括：‑由第二多晶材料制成的起始衬底，‑与所述起始衬底的前表面接触的玻璃碳膜。
主权项：1.复合结构100的制造方法，所述复合结构100包括布置在支撑衬底20上的由第一单晶材料制成的薄层10，所述制造方法包括以下阶段：a提供由第二多晶材料制成的起始衬底2，b通过离心涂覆，至少在所述起始衬底2的正面2a上沉积包含预形成的三维碳-碳键的聚合物树脂层3，c在120℃和180℃之间的温度下对设有聚合物树脂层3的起始衬底2施加第一次退火，以形成交联聚合物树脂层3’，d在中性气氛下在大于600℃的温度下施加第二次退火，以将交联聚合物树脂层3’转变成玻璃碳膜30，f将由第一单晶材料形成的薄层10直接转移到玻璃碳膜30上或经由中间层4转移到玻璃碳膜30上，所述转移涉及在玻璃碳膜30的表面与薄层10的表面之间或者在玻璃碳膜30的表面与布置在所述玻璃碳膜30和薄层10之间的中间层4的表面之间的通过分子粘合而结合的界面5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： SOITEC公司 复合结构及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号