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申请/专利权人：哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
摘要：本发明公开一种支撑弹簧模型的制备方法及一体化干涉仪装置，涉及红外光谱仪技术领域，方法包括：采用遗传算法对基于二阶贝塞尔曲线确定的用于模拟支撑弹簧模型的控制点坐标的多组初始控制点坐标序列进行迭代，确定用于制备一体化干涉仪装置中的支撑弹簧结构的支撑弹簧模型。通过对支撑弹簧模型仿真及迭代，提高了一体化干涉仪装置的光程差，并进一步提高了红外光谱仪的分辨率。干涉仪装置包括器件层、埋氧层及衬底层，反射镜与衬底层一体化设计，不需要反射镜额外安装，保证了光路准确性，进一步提高了对物质结构和成分的分析精度。此外，一体化干涉仪装置为分光镜进行了内凹设计，器件层通过桥式结构一体化连接，保证了整体结构的强壮。
主权项：1.一种支撑弹簧模型的制备方法，其特征在于，包括：基于计算机中安装的数学建模软件中的二阶贝塞尔曲线，确定用于模拟支撑弹簧模型的二阶贝塞尔曲线的第一控制点坐标；基于所述二阶贝塞尔曲线，在所述支撑弹簧模型的可建模区域随机生成4n组用于模拟所述支撑弹簧模型的二阶贝塞尔曲线的初始控制点坐标序列；所述初始控制点坐标序列包括所述二阶贝塞尔曲线的第二控制点横坐标、所述二阶贝塞尔曲线的第二控制点纵坐标、所述二阶贝塞尔曲线的第三控制点横坐标及所述二阶贝塞尔曲线的第三控制点纵坐标；4n为初始控制点坐标序列的个数，n为大于或等于1的正数；采用遗传算法，对4n组所述初始控制点坐标序列进行迭代，当达到迭代的目标次数时，生成4n组目标控制点坐标序列；根据所述第一控制点坐标及所述4n组目标控制点坐标序列，确定所述支撑弹簧模型；根据所述支撑弹簧模型，制备一体化干涉仪装置中的支撑弹簧结构。
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权利要求：
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