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一种镀金钯铜线及其制备方法 

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申请/专利权人:烟台一诺电子材料有限公司

摘要:本发明涉及集成电路领域,具体涉及一种镀金钯铜线及其制备方法,制备方法包括以下步骤:步骤1,退火处理,得到第一铜线基材;步骤2,超声清洁,得到第二铜线基材;步骤3,镀钯处理,得到第三铜线基材;步骤4,镀金处理,得到第四铜线基材;步骤5,超声清洁处理,得到镀金钯铜线。经过本发明处理后的钯层或金层不仅表面分布更均匀、平整性更好,不容易出现分层以及破层的现象,从而维持镀金钯铜线的表面均匀性。此外,经过本发明制备的镀金钯铜线的强度和耐盐雾性也更加优异。

主权项:1.一种镀金钯铜线的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,将纯铜管材经过拉拔处理形成铜丝,然后置于高温炉内退火处理,得到第一铜线基材;步骤2,将第一铜线基材在超声的作用下进行表面清洁处理,得到第二铜线基材;步骤3,将第二铜线基材在镀钯液内进行镀钯处理,得到第三铜线基材;步骤4,将第三铜线基材在镀金液内进行镀金处理,得到第四铜线基材;步骤5,将第四铜线基材在超声的作用下再次进行表面清洁处理,得到镀金钯铜线;所述步骤3中,镀钯液成分按照重量份数计算,包括:10-20份钯盐、0.2-0.6份第一稳定剂、25-50份第一络合剂、1.8-3.6份第一还原剂、0.01-0.1份第一缓冲剂和40-60份去离子水;所述步骤4中,镀金液成分按照重量份数计算,包括:12-24份金盐、0.2-0.6份第二稳定剂、28-56份第二络合剂、2.1-4.2份第二还原剂、0.01-0.1份第二缓冲剂和40-60份去离子水。

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权利要求:

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