买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：繁枫新能源(上海)有限公司

摘要：本发明公开了一种薄膜厚度测量装置及方法，涉及薄膜厚度测量技术领域，其技术方案是：包括支撑底板，支撑底板顶部固定设有两个U型架，两个U型架之间固定设有顶板，顶板底部设有多功能测量机构，支撑底板顶部设有承载组件；多功能测量机构包括罩壳，罩壳设于顶板底部，罩壳顶部固定设有第二电动推杆，第二电动推杆输出端固定连接有连接框架，连接框架内部固定设有第一电机，第一电机输出端固定连接有转动杆，转动杆底部固定设有顶部安装板，发明有益效果是：方便薄膜取样，保持薄膜的平整性，方便测量，调节测量位置，多区域测量，使测量数据样本增加，方便薄膜厚度计算，提高了测量的可靠性和准确性，测量速度快，提高了工作效率。

主权项：1.一种薄膜厚度测量装置，包括支撑底板（1），其特征在于：所述支撑底板（1）顶部固定设有两个U型架（3），两个所述U型架（3）之间固定设有顶板（4），所述顶板（4）底部设有多功能测量机构，所述支撑底板（1）顶部设有承载组件；所述多功能测量机构包括罩壳（7），所述罩壳（7）设于顶板（4）底部，所述罩壳（7）顶部固定设有第二电动推杆（12），所述第二电动推杆（12）输出端固定连接有连接框架（16），所述连接框架（16）内部固定设有第一电机（17），所述第一电机（17）输出端固定连接有转动杆（18），所述转动杆（18）底部固定设有顶部安装板（34），所述顶部安装板（34）底部固定设有滑轨（19），所述滑轨（19）内部设有滑块（33），所述滑块（33）一侧固定设有连接壳体（23），所述连接壳体（23）一侧固定设有第二电机（43），所述第二电机（43）输出端与丝杆（44）固定连接，所述连接壳体（23）内部通过轴承连接有丝杆（44），所述丝杆（44）外部通过螺纹套设有滑动块（45），所述滑动块（45）底部安装有光源模块（35），所述光源模块（35）底部分别安装有激光器（36）和光电探测器（37）；所述多功能测量机构还包括样品切割组件，所述样品切割组件包括连接杆（38），所述连接杆（38）与滑块（33）通过轴承连接，所述连接杆（38）底部固定设有滑柱（39），所述滑柱（39）底部固定设有切割刀（40）；所述多功能测量机构还包括压制组件，所述压制组件还包括外压板（21）和内压板（22），所述外压板（21）和内压板（22）设于罩壳（7）内部，所述外压板（21）两侧固定设有两个第一固定杆（13），所述第一固定杆（13）与连接框架（16）固定连接，所述外压板（21）底部固定设有第一压条（41），所述内压板（22）底部固定设有第二压条（42），所述内压板（22）顶部通过轴承连接有连接环（27），所述连接环（27）顶部固定设有多个第二固定杆（24），多个所述第二固定杆（24）一端固定连接有套管（25），所述套管（25）固定套设于转动杆（18）外部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 繁枫新能源(上海)有限公司 一种薄膜厚度测量装置及方法