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申请/专利权人：皮尔金顿集团有限公司
摘要：提供了化学气相沉积工艺用于在玻璃基材上方形成基于氧化锰的层。气态混合物形成并包括一种或多种选自以下的含锰化合物：双环戊二烯基锰II，双乙基环戊二烯基锰II，甲基环戊二烯基三羰基锰I，及其衍生物，和一种或多种选自以下的含氧前体：有机含氧化合物和分子氧。朝向并沿着玻璃基材引导气态混合物，并在玻璃基材上方反应以在其上形成氧化锰涂层。
主权项：1.用于在玻璃基材上方形成氧化锰涂层的化学气相沉积工艺，包括：提供玻璃基材；形成气态混合物，其包含选自双环戊二烯基锰II、双乙基环戊二烯基锰II、甲基环戊二烯基三羰基锰I、及其衍生物的一种或多种的含锰化合物，和选自有机含氧化合物和分子氧的一种或多种含氧前体；朝向并沿着玻璃基材引导气态混合物；和使气态混合物在玻璃基材上方反应以在玻璃基材上方形成氧化锰涂层。
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权利要求：
百度查询： 皮尔金顿集团有限公司 形成涂层的方法
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