龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：一种方法，其包括：在介电绝缘层的第一侧上形成第一导电层，在第一导电层的背向介电绝缘层的一侧上形成结构化的掩模层，在第一导电层中形成至少一个沟槽，其中，所述至少一个沟槽延伸穿过整个第一导电层直至介电绝缘层，形成至少覆盖至少一个沟槽的底部和侧壁的涂层，在形成该涂层之后去除掩膜层。
主权项：1.一种用于制造衬底的方法，其包括：在介电绝缘层11的第一侧上形成第一导电层111；在所述第一导电层111的背向所述介电绝缘层11的一侧上形成结构化的掩膜层121；在所述第一导电层111中形成至少一个沟槽124，其中，所述至少一个沟槽124延伸穿过整个第一导电层直至所述介电绝缘层11；形成涂层31，所述涂层至少覆盖所述至少一个沟槽124的底部和侧壁；在形成所述涂层31之后去除所述掩膜层121，其中，如此形成所述第一导电层111，使得所述第一导电层不覆盖所述介电绝缘层11的边缘区域，其中，所述方法还包括：在所述介电绝缘层11的边缘区域上形成所述涂层31，所述边缘区域未被所述第一导电层111覆盖。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 用于制造衬底的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号