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申请/专利权人：深圳市优界科技有限公司
摘要：本发明公开了一种顶刺式晶粒转移装置，包括载板承载机构及晶粒转移机构，载板承载机构及晶粒转移机构包括至少两组；载板承载机构及转移平台在水平面内沿纵向及横向方向直线运动；载板承载机构内水平设有承载空间，承载空间的一侧为开放面；晶粒转移机构对应设置于载板承载机构上方；晶粒转移机构包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽；吸附腔体内竖直设有探针。本发明实现晶粒转移前载板位置或角度调整，保证载板位置稳定性，实现柔性接触，有效减少载板损坏，通过探孔实现探针下探极限位置限定，通过探帽接触蓝膜后利用辅助吸孔形成的真空负压向上吸住蓝膜晶，防止下探部位周围蓝膜形变。
主权项：1.一种顶刺式晶粒转移装置，其特征在于：包括载板承载机构（62）及晶粒转移机构（63），载板承载机构（62）及晶粒转移机构（63）包括至少两组，其中，上述载板承载机构（62）水平设置，并对应设置于转移平台上方；所述转移平台上装载有空玻璃载板；上述载板承载机构（62）及转移平台在水平面内沿纵向及横向方向直线运动；上述载板承载机构（62）内水平设有承载空间（G），承载空间（G）的一侧为开放面，以便装载有晶粒的蓝膜载板滑入；上述载板承载机构（62）上沿竖直方向开设有通孔（F），所述通孔（F）上下贯通承载空间（G）；上述晶粒转移机构（63）对应设置于载板承载机构（62）上方；上述晶粒转移机构（63）包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽（638），吸附腔体与真空发生装置连接；上述吸附腔体内竖直设有探针（6311），探针（6311）在吸附腔体内上下升降运动，并穿过上述通孔（F）及探针帽（638）向下顶刺承载空间（G）内蓝膜载板上的晶粒，使晶粒转移至转移平台上的玻璃载板上；上述探针帽（638）的底部围绕探针（6311）穿出部位通过真空负压力向上吸附蓝膜载板上的蓝膜。
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权利要求：
百度查询： 深圳市优界科技有限公司 一种顶刺式晶粒转移装置
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