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申请/专利权人：维视欧特科有限责任公司
摘要：本发明涉及一种通过迈克尔逊型自由光束干涉仪产生二维干涉图的方法，所述干涉仪包括扩展的、空间上部分相干的光源和二维的光探测器，其中所述光源的光被包含半透的分束镜的分束器分割成样品光束和参考光束，并被输送至样品臂和参考臂，其中从样品返回的样品光束被通过分束镜导引至光探测器，其中从参考臂发出的参考光束在光探测器上与样品光束形成预定的大于零的角度，其中所述参考臂的长度是可变的，其特征在于，参考光束是借助在每个反射平面中的奇数个反射，在至少一个参考臂区段中以与自身侧向错开并且反向平行延伸的方式，被导引穿过固定布置在参考臂的输出处借助衍射或折射使光偏转的元件。
主权项：1.一种通过迈克尔逊型自由光束干涉仪产生二维干涉图的方法，所述干涉仪包括扩展的、空间上部分相干的光源和二维的光探测器，其中所述光源的光被包含半透的分束镜的分束器分割成样品光束和参考光束，并被输送至样品臂和参考臂，其中从样品返回的样品光束被通过分束镜导引至光探测器，其中从参考臂发出的参考光束在光探测器上与样品光束互成预定的大于零的角度，其中所述参考臂的长度是可变的，其特征在于，参考光束是借助在每个反射平面中的奇数个反射，在至少一个参考臂区段中以与自身侧向错开并且反向平行延伸的方式，被导引穿过固定布置在参考臂的输出处借助衍射或折射使光偏转的元件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 维视欧特科有限责任公司 通过迈克尔逊型自由光束干涉仪产生二维干涉图的方法
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