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一种多敏感体分区灵敏力传感器 

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申请/专利权人:湖南大学

摘要:本发明公开了一种新多敏感体分区灵敏力传感器,传感器包括层叠式多敏感区力敏元件、三路检测电路、信号调理电路、信息解耦系统,其中的层叠式多敏感区力敏元件包括底座、三组层叠式力感元件、应变检测元件、承载平台。每个层叠式力敏元件在X、Y、Z三个坐标方向都包括多个相互独立的应变敏感单元。在每个应变敏感单元正反两面上按特定的策略布置了应变检测元件。本发明针对现有力传感器难以满足同时具备大量程及高灵敏度的要求,通过设计力传感器的多个敏感体,各个敏感体在宽量程内自动分区灵敏,最终实现传感器在整个大量程范围中实现多灵敏度测量。

主权项:1.一种多敏感体分区灵敏力传感器,包括承载平台1,其特征在于,所述承载平台1的外周布设有若干组层叠式力感元件,每组层叠式力感元件包括至少两个应变敏感单元,应变敏感单元上安装有应变检测单元5;同一组且相邻的应变敏感单元之间成形有第一间隙8;随对承载平台1加载力的增加,相邻应变敏感单元逐渐相互接触形成叠加阻力;所述承载平台1左右两侧均安装有第一组层叠式力感元件2;所述承载平台1前后两侧均安装有第二组层叠式力感元件2-1;所述第一组层叠式力感元件2和第二组层叠式力感元件2-1均包括若干水平向应变敏感单元;所述水平向应变敏感单元包括水平圆柱体3,水平圆柱体3连接有竖向悬臂梁4,竖向悬臂梁4侧面中部正反两侧均安装有应变检测单元5;竖向悬臂梁4底部固定在底座9上;处于同一组的水平圆柱体3相互平行且处于同一水平高度上;相邻水平向应变敏感单元的水平圆柱体3之间成形有第一间隙8;所述承载平台1为倒四棱台状;所述底座9内成形有与承载平台1配合的四个斜面5-1;竖向悬臂梁4底部均固定在斜面5-1上;相邻水平向应变敏感单元之间的第一间隙8的大小为10μm-800μm。

全文数据:

权利要求:

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