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基于太赫兹时域反射的无损检测系统及方法 

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申请/专利权人:航天科工防御技术研究试验中心

摘要:本申请提供一种基于太赫兹时域反射的无损检测系统及方法,所述系统包括互相电连接的信号触发单元,检测单元和处理单元。所述信号触发单元,被配置为发射出第一激光脉冲信号和第二激光脉冲信号;所述检测单元,被配置为接收所述第一激光脉冲信号后发射出太赫兹脉冲信号对样品进行检测,从样品反射回检测单元的太赫兹脉冲信号与检测单元接收的第二激光脉冲信号形成合束电信号;所述处理单元被配置为接收所述合束电信号,并对所述合束电信号进行处理和分析,通过处理和分析的结果,判断所述测试样品是否存在缺陷以及存在的缺陷类型。本申请提供的检测系统基于太赫兹时域反射,能够以高精度和高准确度对多层微组装模块和多层PCB进行无损检测。

主权项:1.一种基于太赫兹时域反射的无损检测系统,其特征在于,包括:信号触发单元,被配置为发射出第一激光脉冲信号和第二激光脉冲信号;检测单元,与所述信号触发单元电连接;所述检测单元被配置为接收所述第一激光脉冲信号和所述第二激光脉冲信号;所述检测单元被所述第一激光脉冲信号激励后发射出太赫兹脉冲信号;所述太赫兹脉冲信号发射至测试样品,对其进行检测,检测后从所述测试样品反射的所述太赫兹脉冲信号经处理后形成检测电信号,所述检测电信号与所述第二激光脉冲信号合束,形成合束电信号;所述检测单元发射出合束电信号;处理单元,分别与所述检测单元、所述信号触发单元电连接,被配置为接收所述合束电信号,并对所述合束电信号进行处理和分析,通过处理和分析的结果,判断所述测试样品是否存在缺陷以及存在的缺陷类型;其中,所述信号触发单元包括信号触发器、第一飞秒激光器和第二飞秒激光器,所述信号触发器向第一飞秒激光器发送触发信号,得到重复频率为30~100MHz的第一触发信号;所述信号触发器向第二飞秒激光器发送触发信号,得到第二触发信号,所述第二触发信号的重复频率与所述第一触发信号相差±1MHz;所述第一飞秒激光器和所述第二飞秒激光器在分别接收到所述第一触发信号和所述第二触发信号后,分别发射出第一激光脉冲信号和第二激光脉冲信号;其中,所述检测单元包括探针、发射器和探测器;所述发射器上设有第一光电导天线,所述第一激光脉冲信号作为泵浦源激励第一光电导天线,使所述第一光电导天线发射出太赫兹脉冲信号,所述太赫兹脉冲信号发射至测试样品对所述测试样品进行检测;所述探测器上设有第二光电导天线,所述第二光电导天线被配置为分别接收第二激光脉冲信号,和对测试样品检测后反射回的所述太赫兹脉冲信号,所述第二光电导天线将所述太赫兹脉冲信号转变为所述检测电信号,再将所述检测电信号与所述第二激光脉冲信号合束,发射出所述合束电信号。

全文数据:

权利要求:

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