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申请/专利权人：四川超迈智能装备有限公司
摘要：本发明涉及真空传输阀技术领域，具体涉及一种半导体高洁净真空传输阀，包括阀座以及阀板，所述阀座侧壁开设有传输口，所述阀座顶壁开设有升降口，所述升降口与下方的传输口连通，所述阀板可升降设置在升降口内，所述阀座顶壁设置有密封壳，所述密封壳内设置有升降组件，所述升降组件用于带动阀板升降；所述阀板一侧壁可移动设置有抵接框，所述抵接框可朝靠近以及远离对应侧传输口的方向移动，所述抵接框靠近对应侧传输口的一侧壁设置有密封圈；所述阀板上设置有平推组件，所述平推组件用于带动抵接框靠近或远离传输口，所述抵接框将密封圈抵紧在阀座的传输口外圈时，所述阀板封闭传输口。本发明可减少传输阀启闭过程中产生的颗粒物。
主权项：1.一种半导体高洁净真空传输阀，包括阀座1以及阀板2，所述阀座1侧壁开设有传输口3，所述阀座1顶壁开设有升降口4，所述升降口4与下方的传输口3连通，所述阀板2可升降设置在升降口4内，其特征在于：所述阀座1顶壁设置有密封壳5，所述密封壳5内设置有升降组件，所述升降组件用于带动阀板2升降；所述阀板2一侧壁可移动设置有抵接框6，所述抵接框6可朝靠近以及远离对应侧传输口3的方向移动，所述抵接框6靠近对应侧传输口3的一侧壁设置有密封圈7；所述阀板2上设置有平推组件，所述平推组件用于带动抵接框6靠近或远离传输口3，所述抵接框6将密封圈7抵紧在阀座1的传输口3外圈时，所述阀板2封闭传输口3；所述阀板2一侧壁开设有安装槽10；所述密封圈7与安装槽10内侧壁之间为滑动密封，所述安装槽10内部与密封圈7相抵接的两内侧壁上均开设有收集槽21，所述密封圈7始终将收集槽21进行封堵，所述阀板2上开设有进气腔12以及出气腔13，所述进气腔12以及出气腔13的一端延伸至阀板2外部、另一端均与收集槽21连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川超迈智能装备有限公司 一种半导体高洁净真空传输阀
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