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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：本发明的一方案的成像质量分析装置具备：分析执行部1、31，对在试样上的二维区域内设定的多个测量点分别执行质量分析，对每个该测量点收集在规定的质荷比范围内的质谱数据；条件存储部32，预先存储基于在分析执行部的分析得到的质谱数据生成数据矩阵时的数据矩阵生成条件；数据矩阵生成部42，在从分析执行部进行分析的执行途中开始或者接在该分析结束后，依照在条件存储部中存储的数据矩阵生成条件，基于在该时间点已经收集到的质谱数据来生成数据矩阵。
主权项：1.一种成像质量分析装置，其特征在于，具备：分析执行部，对在试样上的二维区域内设定的多个测量点分别执行质量分析，对每个该测量点收集规定的质荷比范围内的质谱数据；条件存储部，预先存储基于通过在所述分析执行部的分析而得到的质谱数据生成数据矩阵时的数据矩阵生成条件；数据矩阵生成部，从所述分析执行部进行的分析的执行途中开始，依照所述条件存储部中存储的数据矩阵生成条件，基于在该时间点已经收集到的质谱数据生成数据矩阵。
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