龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本揭露提供一种微影装置、安装光罩保护膜的方法及晶圆的制造方法，半导体微影制程的装置包含定义要被转移的电路图案的光罩。装置还包含包括形成在第一表面内的图案的光罩保护膜，其中光罩保护膜的第一表面是贴附至光罩。装置亦包含设置在光罩及第一表面之间的粘着材料层。图案可包含多个毛细管。每一个毛细管在第一表面的平面内具有约1μm至约500μm的尺寸。每一个毛细管的深度对宽度的比例是大于或等于约100。粘着材料层包括粘着剂，且粘着剂的玻璃转化温度Tg是大于室温。
主权项：1.一种用于半导体微影制程的装置，其特征在于，包括：一光罩，定义将被转移的一电路图案；一光罩保护膜，包含一图案，形成在该光罩保护膜的一第一表面中，该图案包含多个毛细管，其中该光罩保护膜的该第一表面是贴附至该光罩；及一粘着材料层，设置在该光罩与该第一表面之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 微影装置、安装光罩保护膜的方法及晶圆的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号